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金融界2024年10月31日消息，国家知识产权局信息显示，赫智科技（苏州）有限公司申请一项名为“光刻处理方法、装置和电子设备”的专利，公开号 CN 118838130 A，申请日期为 2024 年 8 月。
专利摘要显示，本公开关于一种光刻处理方法、装置和电子设备，该方法包括显示光刻设备上基板对应的预设定位地图；响应于针对预设定位地图中基板的已光刻区域的定位指令，获取预设定位地图中已光刻区域的区域中心对应的第一位置信息，将第一位置信息作为待光刻图纸的中心在预设定位地图中的第二位置信息；根据第二位置信息，确定待光刻图纸的中心在基板上的第三位置信息；基于第三位置信息和基板中心位置信息，移动预设平台，以使光刻设备对准待光刻图纸的中心在基板上的位置，并进行光刻。利用本公开实施例可以快速查找已光刻区域，实现对待光刻图纸的中心的准确定位，提升光刻处理的精度和效率，减小定位误差。
本文源自金融界
